1. 杠桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高效省力操作
該晶圓夾持系統(tǒng)采用優(yōu)化設(shè)計(jì)的杠桿結(jié)構(gòu)，通過(guò)機(jī)械增益原理將操作力降低70%以上。鎖定機(jī)構(gòu)激活后僅需維持0.5N的保持力，即可穩(wěn)定支撐標(biāo)準(zhǔn)300mm晶圓，大幅減輕操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，使長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)更加輕松。

2. 智能鎖定確保穩(wěn)定夾持
創(chuàng)新的自鎖式夾緊機(jī)構(gòu)在閉合后自動(dòng)保持預(yù)設(shè)壓力，無(wú)需持續(xù)施力。該系統(tǒng)配備壓力指示裝置，可直觀確認(rèn)夾持狀態(tài)，避免因操作疲勞導(dǎo)致的壓力波動(dòng)，保證每次操作的一致性。

3. 兩點(diǎn)接觸設(shè)計(jì)保障潔凈度
接觸部位采用精密加工的PEEK材料，兩點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)將污染風(fēng)險(xiǎn)降至較低。PEEK材料具備280℃的耐溫性能和優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性，在保證夾持可靠性的同時(shí)，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)材料純凈度的嚴(yán)格要求。

4. 人性化設(shè)計(jì)提升工作效率
系統(tǒng)重量控制在300g以內(nèi)，符合人體工程學(xué)的握柄設(shè)計(jì)使操作更加舒適。實(shí)測(cè)表明，該設(shè)計(jì)可使晶圓轉(zhuǎn)移效率提升40%，同時(shí)將操作失誤率降低至0.5%以下，顯著提高生產(chǎn)線的整體良率。