HORIBA堀場在線監控橢偏儀操作界面簡單

UVISEL Plus在線監控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監控薄膜沉積或刻蝕過程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結合了速度快、靈敏度高、動態范圍寬和準確等優點，使其能夠在原子層水平監控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現。

HORIBA堀場在線監控橢偏儀操作界面簡單采用新型適配器組件可以實現臺式設備和在線系統的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多優良的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。優良的通訊協議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產環境和OEM。

• 高速、準確

• 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包

• 便于在線和離線間切換

可獲得的信息

• 薄膜厚度

• 光學常數（n,k）

• 材料組成

各類日系工業品:,SSD西西蒂(離子風扇)、AND愛安得（電子天平）、SAN-EI三英(點膠閥） HOYA光源,KURABO脫泡機,USHIO牛尾照度計,Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚儀,MUSASHI武藏,SAKURAI櫻井,aitec艾泰克,otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）,Hitachi日立（掃描電鏡）,MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）、POLARION普拉瑞、AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學（環境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強光燈、CEDAR思達