HORIBA堀場高靈敏度橢偏儀

UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設計，整個系統處于真空狀態，無氧氣吸收。具備高準確性；超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮氣消耗量少。光譜范圍可覆蓋147-2100nm。

UVISEL 2 VUV能夠在充氮氣或抽真空模型下工作。整個機械設計經過優化，氮氣消耗量低至6L/min，載樣速度快，2分鐘內即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。

HORIBA堀場高靈敏度橢偏儀UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度，它集成了大功率雙光源、高通量光學系統以及CaF2光彈調制晶體和兩個時髦的單色儀。從147nm到850nm，樣品測量時間少于8分鐘，具有良好的信噪比。

UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮氣消耗量、吹掃及測試時間，改變了VUV橢偏儀的世界。

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析，輸出報告，以及自動操作的全部功能控制，用戶界面直觀、友好，非常適用于科研及工業客戶使用。

UVISEL 2 VUV測試速度快、運行成本低，使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動化。

• 載樣速度快

• 吹掃速度快

• 氮氣消耗少

• 測試速度快

• 兩種操作模式可選：氮氣保護或抽真空