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SSD電暈放電式(外施電壓式)的種類--美薩技術篇

時間:2025/6/28閱讀:117
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電暈放電式(外施電壓式)的種類

交流式(AC方式)

利用交流電源,從一個放電針交互產生正離子(+)和負離子(-)的方式。交流式適合近距離、無風狀態下除靜電,被用于多種生產現場。

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高頻型(約70kHz)商用頻率型(50/60Hz)

何為高頻型

遠高于商用頻率的頻率(約70kHz),將高電壓施加于放電針上,產生電暈放電,能夠均勻大量產生正離子(+)和負離子(-),發揮較高的除靜電效果。

尤其是將軟管用于除靜電,可以實現其他方式(商用頻率型和直流式)無法做到的點式除靜電。甚至能夠避免在放電針產生的電場接近半導體元件等時產生傷害。

與商用頻率型的比較

與商用頻率型的比較

商用頻率型的特點是由于使用繞組變壓器,因而裝置較重,形狀也較大。與此相對,由于高頻型在基板上裝配元件,因此形狀極小、重量較輕,可裝配于半導體相關裝置的狹小空間中,用途廣泛。

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穩態直流式(DC方式)

分別向兩根放電針外加正離子(+)和負離子(-)的方式。特點是由于一直施加高壓,離子量較多、除靜電速度較快。放電針的磨損因正離子(+)和負離子(-)而不同,因此隨著時間經過,離子平衡電壓有變大傾向。

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脈沖直流式 (pulsed DC方式)

特點是除靜電速度快,但是由于含有各種頻率成分,有噪音大的傾向。

對于放電針周圍的絕緣體臟污,可能因電流泄漏導致絕緣體損壞。

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混合數字控制-AC式(HDC-AC方式)

對正離子(+)和負離子(-)的釋放進行數字控制,具有的離子平衡調整功能。可以對高速移動的物體進行均勻除靜電,令除靜電方式更加進化。對于放電針的臟污特性變化小,無需頻繁清掃,也能保持長期穩定的除靜電性能。


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