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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質，依靠機械結構實現抽真空的一類真空獲得設備。
產品介紹
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 SDH6000
KASHIYAMA樫山工業 干式真空泵 SDH6000
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質，依靠機械結構實現抽真空的一類真空獲得設備。這類泵通過精密配合的機械部件直接壓縮和排出氣體，解決了傳統油封式或液環式真空泵存在的介質污染問題。干式真空泵的發展始于20世紀80年代，隨著半導體、光伏等潔凈工業的需求而快速進步，現已成為高科技制造領域不可替代的關鍵設備。
干式真空泵的顯著特點
無油設計：
泵腔內無任何潤滑介質
抽氣過程100%無油蒸汽反流
達到ISO 8573-1 Class 0無油標準
精密機械結構：
采用多級壓縮設計（通常3-7級）
轉子與腔體間隙控制在微米級
特殊表面處理工藝降低摩擦
介質適應性：
可處理腐蝕性氣體（需特殊材質）
耐受粉塵和顆粒物（配置過濾器時）
能抽除可凝性蒸汽
智能控制系統：
集成溫度、振動等多參數監測
具備自動過載保護功能
支持遠程監控和故障診斷
寬泛的工作范圍：
極限真空可達0.01Pa（渦輪分子泵組合時）
流量范圍從1m3/h到1000m3/h
適應連續或間歇運行模式
| 型號*1 | SDX600型 | SDT600 系列 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
| 最大抽速 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
| 極限壓力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V*7 | ||||||||
| N2流速 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
| 冷卻水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 功耗[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
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