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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質，依靠機械結構實現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設備。
產品介紹
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU300PE
KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU300PE
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是指無需任何工作液（如油或水）作為介質，依靠機械結構實現(xiàn)抽真空的一類真空獲得設備。這類泵通過精密配合的機械部件直接壓縮和排出氣體，解決了傳統(tǒng)油封式或液環(huán)式真空泵存在的介質污染問題。干式真空泵的發(fā)展始于20世紀80年代，隨著半導體、光伏等潔凈工業(yè)的需求而快速進步，現(xiàn)已成為高科技制造領域不可替代的關鍵設備。
干式真空泵的典型應用
（一）半導體制造
晶圓加工：刻蝕、CVD、PVD工藝
離子注入：束線系統(tǒng)真空維持
光刻機：EUV光源腔體抽真空
（二）平板顯示行業(yè)
OLED蒸鍍：高純真空環(huán)境建立
LCD制造：液晶灌注系統(tǒng)
觸摸屏生產：真空貼合工藝
（三）光伏產業(yè)
太陽能電池：PECVD工藝
薄膜電池：真空鍍膜系統(tǒng)
組件封裝：層壓機抽真空
（四）科研領域
同步輻射：光束線真空系統(tǒng)
電鏡系統(tǒng)：樣品室抽真空
空間模擬：環(huán)境模擬艙抽氣
（五）其他應用
醫(yī)療設備：質子治療加速器
鋰電池制造：極片干燥系統(tǒng)
食品包裝：無菌包裝生產線
| 規(guī)格/型號 | MU100PE/HE | MU300PE/HE | MU600PE/HE |
| 最大抽速 [L/min] *2 | 1,660 | 5,000 | 10,000 |
| 極限壓力 [Pa] *2 | 3.0 | 0.5 | |
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V *3 | ||
| 功耗 [kW] *4 | 0.6 | 0.8 | 0.85 |
| 外形尺寸 [mm] 長×寬×高 *5 | 630×350×360 元 | 630×350×520 元 | |
| 重量 [kg] | 70 | 110 | 130 |
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