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產品簡介
| 3C閥門類別 | 工業(yè) | 工作溫度 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 類型(通道位置) | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 流動方向 | 其他 | 壓力環(huán)境 | 其他 |
| 應用領域 | 綜合 | 種類 | 其他 |
真空閥（Vacuum Valve）是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動、調節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。
產品介紹
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-C160
MIYUKI美幸輝 真空閥 ABR-C160
L 型閥
AB/AE/ABR/AER 系列
軸封方式（波紋管密封、O 形圈密封）可根據(jù)使用目的選擇。
16A~50A 可用于單作用和雙作用。
所有尺寸均與反壓兼容。
真空閥（Vacuum Valve）是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動、調節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。由于真空系統(tǒng)對密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴格要求，真空閥的設計與普通閥門有顯著區(qū)別。
真空閥根據(jù)工作原理可分為：
截止型真空閥（如真空擋板閥、真空蝶閥）——用于切斷或接通氣流。
調節(jié)型真空閥（如真空微調閥、針閥）——用于精確控制氣體流量和壓力。
放氣閥（如真空破空閥）——用于向真空腔體引入大氣，平衡壓力。
真空閥廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫(yī)療設備等領域，是真空系統(tǒng)的關鍵組件。
真空閥的應用領域
半導體與微電子制造
用于晶圓加工、刻蝕、CVD（化學氣相沉積）和PVD（物理氣相沉積）設備，控制工藝腔體的真空度。
真空鍍膜與光學涂層
在磁控濺射、電子束蒸發(fā)等鍍膜設備中，真空閥用于隔離不同腔室，確保鍍膜均勻性。
科研與實驗室設備
粒子加速器、同步輻射裝置、質譜儀等超高真空系統(tǒng)依賴高精度真空閥維持穩(wěn)定運行。
航天與空間模擬
用于衛(wèi)星、航天器地面測試，模擬太空真空環(huán)境，確保設備在條件下的可靠性。
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