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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3462L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3462L
質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業設備。作為現代工業自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現對流體流量的高精度閉環控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。
型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制））
3. 制藥行業：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯控）
凍干機惰性氣體保護（露點控制<-70℃）
無菌灌裝環境控制（ISO 5級潔凈度）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 壓力規格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
技術驗證數據
案例1：半導體刻蝕工藝
控制氣體：Cl?/HBr混合氣
流量范圍：50-200sccm
穩定性測試：8小時波動<±0.3%
案例2：燃料電池測試
氫氣流量：0-5000sccm
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