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MC-5100LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25100 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MC-5100L 產(chǎn)品型號(hào)
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：104更新時(shí)間：2025-03-26 15:11:25
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5100L
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過程控制的核心組件，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。
心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì)，溫度分辨率達(dá)0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
科里奧利式：直接質(zhì)量測量，精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動(dòng)裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計(jì)，可以增強(qiáng)氣體的流通，降低污染物影響，使設(shè)備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。
關(guān)鍵性能指標(biāo)
參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)高性能型號(hào)
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS
響應(yīng)時(shí)間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
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