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設(shè)備尺寸

L1300×W1190×H1847mm

設(shè)備重量

800Kg

設(shè)備電源

AC220V，3P,50/60Hz，5線，16A

主機(jī)軟件

Windows 10

主機(jī)通訊

SECS/GEM

主機(jī)硬盤

單/雙

工藝腔

ICP，單腔

料盒類型

開放式（Open cassette）

晶圓單次處理容量

一片

機(jī)械手

3軸（單/雙臂選配）

機(jī)械手

Mapping(選配）

每小時(shí)出片量（WPH)

35片/小時(shí) (1分鐘標(biāo)準(zhǔn)配方)

加熱盤

鋁合金，控溫：50-250℃

等離子發(fā)生系統(tǒng)

電源類型

射頻

電源功率

0~1000W

電源頻率

13.56MHz

匹配器

自動(dòng)匹配

真空系統(tǒng)

工藝腔

鋁合金

腔門

門閥，氣動(dòng)

真空管路

全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管

蝶閥

控壓精度：±50 mtorr

真空管路開關(guān)

角閥，氣動(dòng)

真空泵

干泵：600m3/h

真空計(jì)

0.001-10 Torr

腔體真空開關(guān)

750 Torr

前級(jí)管道真空開關(guān)

100 Torr

氣體系統(tǒng)

工藝氣體系統(tǒng)

氣柜，模塊化（GAS BOX)

氣柜箱體材質(zhì)

不銹鋼

氣柜排氣

負(fù)壓，酸排

氣柜配置

過濾器，手動(dòng)閥，流量計(jì)，氣動(dòng)閥，壓差計(jì)，調(diào)速閥，連鎖開關(guān)

氣體路數(shù)

氣路1

O2 5SLM

氣路2

N2 1SLM

氣路3

CF4 100SCCM

氣路4

4%H2/N2 1SLM

氣路5

N2 慢/快速破真空