美國Entegris   在線氣體過濾器 衢州

美國Entegris   在線氣體過濾器 衢州

Wafergard® GTL 在線氣體過濾器，可靠地去除流速高達(dá) 80 slpm 的惰性氣體中的顆粒。

提供高效、低成本的惰性氣體使用點過濾  >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒

應(yīng)用Wafergard® GTL 在線氣體過濾器應(yīng)用低進(jìn)氣過濾器 晶圓傳輸系統(tǒng) 清潔干燥空氣 （CDA）

產(chǎn)品規(guī)格材料 膜： 疏水性含氟聚合物 PTFE  支架、外殼： 聚砜 

推薦流速 80 slpm  連接 Rc1?4 （PT1?4 內(nèi)螺紋）， 1?4“ NPT 內(nèi)螺紋   膜面積 25 厘米2（3.9 英寸2) 

顆粒截留 >99.99999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在具穿透性的顆粒尺寸下驗證） 

工作條件 最大工作壓力： 20°C 時為 0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid） 

 最大正向壓差： 20°C 時為 0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid） 

 最大反向壓差： 20°C 時為 0.03 MPa（0.3 bar，4.35 psid）    最高工作溫度： 50°C （122°F） 

尺寸 直徑： 25 毫米（0.98 英寸）    長度： 101 毫米（4.0 英寸）