美國(guó)Entegris   在線PTFE氣體過(guò)濾器 寧波

美國(guó)Entegris   在線PTFE氣體過(guò)濾器 寧波

Wafergard® MAX-1000 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器，這些在線氣體過(guò)濾器采用由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜，可在超純氣體應(yīng)用中提供顆粒過(guò)濾。

過(guò)濾面積大，過(guò)濾量大 3 倍，壓降低，流量大

與當(dāng)前過(guò)濾器的長(zhǎng)度尺寸相同，無(wú)需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即可輕松實(shí)施

延長(zhǎng)過(guò)濾器使用壽命，比上一代產(chǎn)品長(zhǎng) 3 倍，應(yīng)用Wafergard® MAX-1000 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用SiCl 的過(guò)濾4、GeCL4,和 POCl3 

光纖應(yīng)用  石英玻璃應(yīng)用  產(chǎn)品規(guī)格材料 膜 由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜  住房 316L 不銹鋼 

O 型圈 封裝氟橡膠 （E-FKM）   內(nèi)飾表面光潔度 ≤25 μin Ra （RR4， SS4）， ≤7 μin Ra （RR6） 

去除等級(jí) ≥99.9999999% 去除氣體中 ≥0.0015 μm 顆粒   

下游清潔度 <0.03 個(gè)顆粒/升（<1 個(gè)顆粒/英尺3） >0.01 微米 

最大工作條件 最大入口壓力 37 巴（538 磅/平方英寸）   最大正向壓差 3.9 巴（57 磅/平方英寸） 

最大反向壓差 2.5 巴 （36 psid）/RR4，不銹鋼 4 0.5 巴 （7 psid）/RR6 

最高工作溫度 120°C （248°F）   氦氣泄漏等級(jí) 1 × 10-10上午3/秒  保證 1 年