美國Entegris   氣體過濾槍

美國Entegris   氣體過濾槍

Wafergard® GN 氣體過濾槍這款易于使用、輕便的氣體過濾槍設(shè)計用于半導(dǎo)體應(yīng)用中壓縮氣體的 POU 過濾。

PTFE 膜可消除顆粒脫落，在氣體應(yīng)用中的額定顆粒截留率為 0.003 μm

提供 10 厘米2有效過濾面積，可實現(xiàn)高流速和更有效的晶圓清潔，濾芯經(jīng)過 100% 預(yù)測試和預(yù)沖洗，以確保可靠的性能，白色尼龍結(jié)構(gòu)在酸和大多數(shù)溶劑應(yīng)用中具有耐腐蝕性，應(yīng)用Wafergard® GN 氣體過濾槍

應(yīng)用  大宗氣體輸送  口供  干法蝕刻  離子注入  光刻

產(chǎn)品規(guī)格  材料 槍 本體、觸發(fā)器 白色尼龍模壓本體   閥門系統(tǒng) 不銹鋼 304 

O 型圈 EPDM 三元乙丙橡膠   配管 聚氨酯   Catridge 過濾器 膜 聚四氟乙烯   Shell， 支持 聚丙烯 

作條件： 最大正向壓差 0.4 MPa @ 20°C （68°F）   最大反向壓差 0.03 MPa @ 20°C （68°F） 

帶過濾器的最高工作溫度 50°C （122°F）   重量： 約 150 克（5.29 盎司）   

連接： 過濾槍 1/4 NPTF 入口 NPT 內(nèi)螺紋 

保留： 對所有顆粒的去除率大于 99.9999999%（以具穿透力的顆粒尺寸為參考） 

 Wafergard®GN氣體過濾槍部件號

零件編號及選擇選項

PO3203J           扳機(jī)維修套件（包括1個扳機(jī)、1個彈簧和1個0形圈）

WGFG01KLO    Wafergard GN氣體過濾槍，10個/包

WGFG01KL5    Wafergard GN 過濾器 5/包

WGGB01KAG   Wafergard GN氣體槍

WGGB01KAN  Wafergard GN氣體過濾槍

XX67000WH   帶接頭的聚氨酯管，2/1m/7ft

XX671000T     螺旋管1/40DX5M