搭配LINTEC的環境溫度補足式質流傳感器，即使在低溫下也能實現高精度的流量測量。 它可抑制由于傳感器受熱而導致的老化劣化，可以對臭氧等高度可降解的氣體進行流量控制。可搭載的選配規格包括：液化氣體、小流量 F.S.、大流量范圍、表面實裝和接頭名稱。

日本LINTEC林泰克 高性能數字流量控制器 MC-3000L
日本LINTEC林泰克 高性能數字流量控制器 MC-3000L

使用范例

半導體生產前端工藝

由于CVD（化學氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）鍍膜設備和蝕刻設備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質量流量控制器至關重要。

此外，前驅體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結構很重要。 選擇LINTEC高性能質量流量控制器MC-3000L，則可選配【液化氣體】【最高工作溫度50°C（可選至55°C）】等相應規格。

分析設備

分析設備可能需要控制極小流量，但一般質量流量控制器的最小F.S.為5SCCM，因此無法對應。 MC-3000L高精度質量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低流量范圍。

此外，高性能質量流量控制器MC-3000L還標配死體積較小的隔膜閥。

詳情請致電或郵件咨詢。

規格表

※此表僅表示一般規格的MFC。　根據選配規格變化。

■簡 介
●MC-3000L系列是可以確保精度于±1%S.P.（設定值）范圍內的高性能數字通訊質量流量控制器
■特 點
●確保精度于±1%S.P.（設定值）范圍內
●采用標準RS-485數字通訊接口
●搭配LINTEC的環境溫度補足式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性