在LINTEC，我們于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認證標準的DeviceNet™通訊專用質量流量控制器MC-5000L。該系列產品配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的環(huán)境溫度補足式質流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。
北崎一手LINTEC林泰克 高質量流量控制器 MC-5200L
北崎一手LINTEC林泰克 高質量流量控制器 MC-5200L

特點

• 精度范圍±1%S.P.

• 使用溫度5～50℃

• 金屬密封件

• 無塵生產（粒子標準監(jiān)控）

• 環(huán)境溫度補足式質流傳感器

• DeviceNet™通訊

使用范例

配線簡化，節(jié)省成本

越來越多的半導體設備采用現(xiàn)場網絡進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉換器或IO板，具有成本低，配線少的特點。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。　根據選配規(guī)格變化。

■簡 介
●MC-5000L系列主要是根據SEMI標準所制成的DeviceNet®通訊接口質量流量控制器
■特 點
●通訊接口采用傳感器驅動網絡DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)    
●可依需求選擇機臺上側或旁側的通訊接口插座
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能    
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性