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北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號MC-5200L

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

更新時間:2025-07-24 17:52:25瀏覽次數(shù):15次

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應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合
北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-5200L
DeviceNet通訊接口專用質(zhì)量流量控制器。
最新的半導(dǎo)體制造設(shè)備上所搭載的控制器不再采用模擬通訊,而是采用開放式現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)通訊技術(shù),以達(dá)到高速控制和簡化布線的目的。

在LINTEC,我們于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的DeviceNet™通訊專用質(zhì)量流量控制器MC-5000L。該系列產(chǎn)品配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器,還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。
北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-5200L
北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-5200L


特點

  • 精度范圍±1%S.P.

  • 使用溫度5~50℃

  • 金屬密封件

  • 無塵生產(chǎn)(粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控)

  • 環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器

  • DeviceNet™通訊


選配規(guī)格

  • 小流量F.S.

  • 液化氣體

  • 大流量范圍

使用范例

配線簡化,節(jié)省成本

越來越多的半導(dǎo)體設(shè)備采用現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC (MC-5000L)不需要AD/DA轉(zhuǎn)換器或IO板,具有成本低,配線少的特點。

規(guī)格表


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最大F.S.密封件
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM200SLMAu


※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。

■簡 介
●MC-5000L系列主要是根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)所制成的DeviceNet®通訊接口質(zhì)量流量控制器
■特 點
●通訊接口采用傳感器驅(qū)動網(wǎng)絡(luò)DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)    
●可依需求選擇機臺上側(cè)或旁側(cè)的通訊接口插座
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能    
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度,高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器,在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性

北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器









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