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當(dāng)前位置:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司>>LINTEC林泰克>> MC-5200L北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號MC-5200L
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時間:2025-07-24 17:52:25瀏覽次數(shù):15次
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在LINTEC,我們于行業(yè)開發(fā)了符合SEMI認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)的DeviceNet™通訊專用質(zhì)量流量控制器MC-5000L。該系列產(chǎn)品配備了半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器,還支持液化氣體等多種選配規(guī)格。
北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-5200L
北崎一手LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-5200L
精度范圍±1%S.P.
使用溫度5~50℃
金屬密封件
無塵生產(chǎn)(粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控)
環(huán)境溫度補足式質(zhì)流傳感器
DeviceNet™通訊
小流量F.S.
液化氣體
大流量范圍
越來越多的半導(dǎo)體設(shè)備采用現(xiàn)場網(wǎng)絡(luò)進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC (MC-5000L)不需要AD/DA轉(zhuǎn)換器或IO板,具有成本低,配線少的特點。
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
※此表僅表示一般規(guī)格的MFC。 根據(jù)選配規(guī)格變化。
■簡 介
●MC-5000L系列主要是根據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)所制成的DeviceNet®通訊接口質(zhì)量流量控制器
■特 點
●通訊接口采用傳感器驅(qū)動網(wǎng)絡(luò)DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)
●可依需求選擇機臺上側(cè)或旁側(cè)的通訊接口插座
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補償式質(zhì)流傳感器
●內(nèi)置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構(gòu)造所組成
●采用高速度,高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器,在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性
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