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當前位置：北崎國際貿易（北京）有限公司>>LINTEC林泰克>> MC-5100L半導體用LINTEC林泰克 質量流量控制器
| 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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在LINTEC，我們于行業開發了符合SEMI認證標準的DeviceNet™通訊專用質量流量控制器MC-5000L。該系列產品配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的環境溫度補足式質流傳感器，還支持液化氣體等多種選配規格。
半導體用LINTEC林泰克 質量流量控制器 MC-5100L
半導體用LINTEC林泰克 質量流量控制器 MC-5100L
精度范圍±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封件
無塵生產（粒子標準監控）
環境溫度補足式質流傳感器
DeviceNet™通訊
小流量F.S.
液化氣體
大流量范圍
越來越多的半導體設備采用現場網絡進行控制操作。DeviceNet通訊專用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA轉換器或IO板，具有成本低，配線少的特點。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
※此表僅表示一般規格的MFC。 根據選配規格變化。
■簡 介
●MC-5000L系列主要是根據SEMI標準所制成的DeviceNet®通訊接口質量流量控制器
■特 點
●通訊接口采用傳感器驅動網絡DeviceNet®(ODVA)。 (ODVA SEMI SIG MFC Profile)
●可依需求選擇機臺上側或旁側的通訊接口插座
●搭配LINTEC的環境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性
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