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當前位置：北崎國際貿易（北京）有限公司>>LINTEC林泰克>> MC-5100C流量控制器 西南供應LINTEC林泰克現(xiàn)貨
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號MC-5100C
品 牌其他品牌
廠商性質經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時間：2025-07-24 15:13:25瀏覽次數(shù)：33次
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| 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
|---|
標準設備包括半導體制造工藝所需的金屬密封件和 LINTEC 創(chuàng)的補充環(huán)境溫度的質量流量傳感器，該傳感器支持液化氣體和其他可選規(guī)格。
精度范圍±1%S.P.
金屬密封件
無塵生產(chǎn)（顆粒標準監(jiān)測）
環(huán)境溫度輔助質量流量傳感器
EtherCAT通信
小流量 F.S.
液化氣
流量范圍大
流量控制器 西南供應LINTEC林泰克現(xiàn)貨 MC-5100C
流量控制器 西南供應LINTEC林泰克現(xiàn)貨 MC-5100C
越來越多的半導體制造設備配備了EtherCAT通信接口（數(shù)字I/F），用于機械臂等運輸系統(tǒng)的高速控制。 MFC 具有 65,536 個用于 EtherCAT 通信的節(jié)點，MFC 的所有測量系統(tǒng)和驅動系統(tǒng)組件都可以通過 EtherCAT 通信進行統(tǒng)一。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 敏 F.S. | 馬克斯 F.S. | 海豹 |
| 15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%股份代價 | 2~100%F.S. | 10SCCM的 | 300SLM | 金 |
此表僅顯示一般規(guī)格的 MFC。 根據(jù)可選規(guī)格而有所不同。
■簡 介
●MC-5000C系列主要是根據(jù)SEMI標準所制成的EtherCAT®通訊接口質量流量控制器
■特 點
●通訊接口采用SEMI E54.20-1108標準的EtherCAT®
●搭配LINTEC的環(huán)境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環(huán)境下亦能維持其安定性
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