通過使用熱傳感器，實現100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥，可實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。

流量精度可達到±1.0％S.P.，數字通信方式可選擇DeviceNet或EtherC

產品特點

• 超高速流量控制200msec

• 精度±1%S.P.

• 使用溫度5～50℃

• 金屬密封材

• 無塵（粒子標準監控）

• 周圍溫度補償傳感器

• 支持EtherCAT通訊方式

• 支持DeviceNet™通訊方式

西北銷售日本LINTEC林泰克 質量流量控制器 MC-7000
西北銷售日本LINTEC林泰克 質量流量控制器 MC-7000

超高速流量制御

使用范例

快速刻蝕工藝

在半導體制造工藝中，在微細化的同時還需要提高產量。對于控制反應氣體流量的質量流量控制器來說，縮短流量控制開始(啟動)時間的需求日益增加。超高速質量流量控制器【MC-7000】因為使用了非接觸式熱式流量傳感器，流量傳感器與流量測量氣體不接觸，可實現200msec的超高速響應。同時，因為非接觸式的特點，該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。

產品規格表