聯系電話
高斯摩(成都)國際貿易有限公司
中級會員·1年
具體成交價以合同協議為準
- 聯系人：
- 汪雅琪
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機：
- 13166082288
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川成都市高新區天府大道中段500-1號東方希望天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.cn
掃一掃訪問手機商鋪
產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設備制造商，成立于1958年，專注于質量流量計（MFM）、質量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發生產，產品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應用于半導體、光伏、醫療和化工等領域。
產品介紹
KOFLOC科賦樂 質量流量計
KOFLOC科賦樂 質量流量計
高精度(±1%瞬時流量)
在一定區間可修改全量程范圍
支持多范圍、多氣體、
在免費提供的軟件上操作簡單
輸出輸入可選擇0-5V/4-20mA
電源也可以選擇DC24V
數字通信RS485(9600bps)
常用性的連接頭
Dsub9針插頭、RJ-45 模塊化插孔×2
S.P.精度保證的高精
度質量流量控制器
技術優勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳落器類型 | 熱式繞線型 | |
|---|---|---|
| 適用氣體※1 | N? (可根據氣體轉換功能適用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4) | |
| 流量量程※3 (0℃,tatm) | 10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim | |
| 控制范圍 | 2-100%(FS) | |
| 響應性 | 所有量程控制范圍1秒以內(within±2%F.S.typical) | |
| 精度 | ±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.) | |
| 重現性 | ±0.2%FS | |
| 動作壓差※4 | 50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa) | |
| 入口最大壓力 | 500kPa(G) | |
| 耐壓 | 980kPa(G) | |
| 外部泄漏率 | 1.0×10-?Pa ·m3/sec(He)以下 | |
| 溫度 | 充許環境溫度 | 5~50℃ |
| 精度保證溫度 | 15~35℃ | |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許環境濕度 | 10～90%RH(未出現冷凝) | |
| 與氣體接位部位的材 質 | SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼，PTFE,PCTFE,FKM | |
| 電氣連接 | Dsub9針KFC Standard(依據SEMI standard) RJ-45模塊化插孔×2 | |
| 流顯設置信號 | V:0~5VDC(輸入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((輸入抗阻2502以上) | |
| 流量輸出佰號 | V:0～5VDC(最小負載電阻10Ω以上) I:4~20mA(最小負載電阻5002以上) | |
| 數字通信 | RS485旋轉開關的地址設置 可選(MODBUS-RTU9600bps) | |
| 所需電源 | 24VDC(±10%)300mA以下 | |
| 接頭 | 1/4SW(標準) | |
| 安裝方位 | 建議水平方向 | |
| 重量 | MFC:約500g | |
相關產品
-
￥7850 -
￥8120 -
￥8120
-
￥8120
