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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特點

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE200的特點

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抽速大:最大抽速可達 3300L/min,能快速抽取氣體,可滿足半導體、光電顯示等行業(yè)苛刻工藝對真空效率的高要求。

極限壓力低:極限真空度低至 1.3Pa,在不使用氮氣吹掃的情況下也能維持高性能穩(wěn)定運行,可提供高真空度環(huán)境。

干式運行:采用無油結(jié)構(gòu),避免了油污染風險,特別適用于潔凈室環(huán)境和對純度要求高的工藝。

結(jié)構(gòu)可靠:垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積,延長泵體使用壽命,提高了運行的穩(wěn)定性和可靠性。

耐腐蝕性強:配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng),能夠適應處理腐蝕性和反應性氣體,可在惡劣的工藝環(huán)境中穩(wěn)定工作。

防止冷凝積碳:前級加熱排氣配管系統(tǒng)可防止冷凝和積碳,增強了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

溫度控制靈活:多級溫控系統(tǒng)可根據(jù)不同應用調(diào)節(jié)泵體溫度,提高了泵對不同工藝的兼容性。

環(huán)保性能好:除害裝置聯(lián)動接口支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入,提升了環(huán)保性能,便于對排出氣體進行處理。

便于監(jiān)控:遠程監(jiān)控與報警系統(tǒng)可實時掌握泵體運行狀態(tài),便于系統(tǒng)集成與自動化管理,能及時發(fā)現(xiàn)并處理問題。


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