• φ12.5mm 晶圓（單晶圓處理）

• 緊湊的外殼（約 30 cm 寬）

• 無需潔凈室

• 低功耗（額定 AC100V 10A）

• 超高真空（5 × 10 -5 Pa 或更低）

• 快速升溫和降溫（2.5 秒至 1100°C）

• 穩定的溫度控制 （1100°C±0.5°C）

• 均勻的溫度分布（變化 （σ/平均值）：0.5%）

深圳電商代理及優勢品牌

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主要合作客戶

關西涂料(ALESCO)、歐菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯國際(SMIC),京東方(BOE),華星光電(CSOT),天馬(TIANMA),柔宇(ROYOLE)

豐田(TOYOTA)，SUZUKI(鈴木)，比亞迪(BYD),(DI)，艾華集團(AISHI)，駿馬精密(ZAMA)三一重工(SANY),中聯重科(ZOOMLION)

住友集團（sumitomo），華為（Huawei）徐工集團，大長江集團，揚力集團，太陽誘電，華天科技，大冶摩托，正泰集團，

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2025.3.20