INFICON英福康 HPG400 精密高真空真空計

INFICON英福康 HPG400 精密高真空真空計

 HPG400

熱電離真空計HPG400

大氣壓到高真空真空計

嵌入式選項

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INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中，可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓（1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓）范圍內的壓力。HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量，實現精確控制鍍濺過程壓力。

好處

HPG400 可節省成本和工具空間，降低真空系統的安裝與設置的復雜性

高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內的壓力，進而改善過程控制

用戶可選的熱電離發射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動

皮拉尼聯鎖保護絲極，防止過早燒毀

備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

符合 RoHS 標準

典型應用

半導體制造、電子工業和媒體工業中的濺鍍應用

工業鍍膜

低真空至高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

Measurement range (air, N2) mbar

Torr 2×10-6 … 1000 

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