INFICON英福康 BCG450 電容式隔膜真空計

INFICON英福康 BCG450 電容式隔膜真空計

 BCG450

熱電離真空計BCG450

大氣壓至超高真空三合一真空計

嵌入式選項

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更靈活、更好的穩(wěn)定性

滑動發(fā)射模式、可拆卸校準(zhǔn)芯片、電隔離電子元件、可選 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)）等等。

立即升級

INFICON Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計 (Triple-Gauge™) BCG450 將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可以測量從 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的過程壓力和基本壓。BCG450 的設(shè)計旨在替代三個傳感器（熱電離、加強對流 Prani 和真空開關(guān)），因而節(jié)省了成本和寶貴的工具空間。

好處

BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量儀器的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制，可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預(yù)抽真空室控制

皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極，防止過早燒毀

高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性

傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證再現(xiàn)性

備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和預(yù)抽真空室的壓力測量

工業(yè)鍍膜

在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制

規(guī)格

Measurement range (air, O2, CO, N2) mbar

Torr 5×10-10 … 1500

3.75×10-10 … 1125 

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