INFICON英福康 BPG402-Sx 大氣壓超高真空計

INFICON英福康 BPG402-Sx 大氣壓超高真空計

 BPG402-Sx

熱電離真空計BPG402-Sx

大氣壓至超高真空真空計

嵌入式選項

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更靈活、更好的穩定性

滑動發射模式、可拆卸校準芯片、電隔離電子元件、可選 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉）等等。

立即升級

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。為負擔不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S，以經濟高效的方式執行基本壓力測量。傳感元件帶有板載校準數據，保證更換傳感器時的高再現性。

好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

皮拉尼聯鎖保護絲極，防止過早燒毀

雙長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

傳感元件帶有板載校準數據，易于更換，可保證高再現性

符合 RoHS 標準

典型應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

Measurement range (air, O2, CO, N2) mbar

Torr 5×10-10 … 1000

3.8×10-10 … 750 

Accuracy     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15 

Repeatability     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading 5 

Temperature     

   Operation (ambient) °C 0 … +50 

Storage °C -20 … +70 

Bakeout at flange without electronics BPG402-S °C 80 

Bakeout at flange without electronics BPG402-SL °C 150 

Supply voltage V (dc)

A (dc) +20 … +28

≤0.8 

Materials exposed to vacuum   Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 

在此下載完整的規格

Part Number

Accessories

Spare Parts

                                                                                                     韓語

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代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗  watson沃森

優勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

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S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

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RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優勢產品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計、焊接機、應力表面檢查儀、LED光源機、電子天平、粘度計、膜厚計、恒流泵、采樣泵、PH計、水分計、地震測試儀、脫泡攪拌機、壓力傳感器、氣體檢測儀、接近開關、拉拔機、異音檢測儀、應變測試儀、拉針儀、水平測試儀等我司代理及優勢品牌一覽明細：

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