INFICON英?？?BPG400 大氣壓真空計

INFICON英?？?BPG400 大氣壓真空計

 BPG400

熱電離真空計BPG400

大氣壓至超高真空真空計

嵌入式選項

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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG400 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓)。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。選擇 BPG400 單一經濟型封裝，在低成本、可重復的過程中進行基礎壓力測量。

好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內為表現出優秀的重復性

皮拉尼聯鎖保護 Bayard-Alpert 系統在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染

長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

符合 RoHS 標準

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

Measurement range (air, O2, CO, N2) mbar

Torr 5×10-10 … 1000

3.8×10-10 … 750 

Accuracy     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15 

Repeatability     

   10-8 … 10-2 mbar % of reading 5 

Temperature     

   Operation (ambient) °C 0 … +50 

Storage °C -20 … +70 

Bakeout at flange with extension °C 150 

Bakeout at flange without extension °C 80 

Bakeout electronics removed °C 150 

Supply voltage V (dc)

A (dc) +20 … +28

0.8 

Materials exposed to vacuum   Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 

在此下載完整的規格

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number Description 

353-500 BPG400 DN 25 ISO-KF 

353-501 BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF 

353-502 BPG400 DN 40 CF-R 

353-503 BPG400 LCD, DN 40 CF-R 

353-505 BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF 

353-506 BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R 

353-507 BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF 

353-508 BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R 

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                             所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                             

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