INFICON英福康 PBR260 真空熱陰極真空計

INFICON英福康 PBR260 真空熱陰極真空計

 熱電離真空計PBR 260

大氣壓到超高真空熱陰極真空計

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INFICON PBR 260是一種組合式真空計，在一個緊湊單元中可作為的兩種真空計用。其主要測量原理是根據(jù)Bayard-Alpert熱陰極規(guī)的測量原理，同時也被皮拉尼熱導測量原理支持。PBR 260 皮拉尼/貝阿德-阿爾珀特熱陰極組合真空計的測量范圍從UHV范圍（5×10-10）mbar到大氣范圍（1000mbar）。

PBR 260的主要優(yōu)點之一是與其他制造商的PBR 260真空計的兼容性非常強，這要歸功于結(jié)合技術，使用相同的模擬輸出信號和電氣接口。這導致了更簡單的安裝、設置和過程整合。

PBR 260 皮拉尼/貝阿德-阿爾珀特熱陰極組合真空計為市場上實惠和可靠的基礎壓力的測量提供 的解決方案。

優(yōu)勢

PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極組合真空計僅用一個緊湊的測量設備就能提供低真空到超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制。

法蘭盤尺寸： DN 25 iso-KF, DN 40 cf-r, DN 40 iso-KF

最大壓力適用于惰性氣體和低于55℃的溫度

高度準確，在10-8 ... 10-2 mbar的過程范圍內(nèi)具有良好的重復性

Bayard-Alpert傳感器的開/關由Pirani傳感器自動控制

長壽命的氧化釔涂層銥燈絲

符合RoHS標準

PBR 260 與其他制造商的Pirani/Bayard-Alpert熱陰極測量儀兼容。

產(chǎn)品編號IGG27000與PT R27 000相匹配  

編號IGG27001與PT R27 001匹配

編號IGG27002與PT R27 002匹配

典型應用

半導體和分析工藝環(huán)境中的一般壓力測量

光學和其他工業(yè)鍍膜工藝

規(guī)格

測量范圍最大。

最小測量范圍 mbar

mbar 1000

5·10-10 

   烘烤溫度 °C 150 (已移除電子單元部分) 

   準確度：10-8至10-2毫巴 %讀數(shù) 15 

   重復性：10-8至10-2毫巴 %讀數(shù) 5 

   纖絲  (陰極)   氧化釔涂層的銥合金 

   暴露在真空中的材料   Cu,W, Glass, NiFe, Mo, St.鋼, NiCr 

   壓力最大。 bar 2 

在此下載完整的規(guī)格

零件編號

備件

零件編號 描述 

IGG27000 PBR 260 DN 25 ISO-KF 

IGG27001 PBR 260 DN 40 ISO-KF 

IGG27002 PBR 260 DN 40 CF-R 

下載

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                             所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                                                                    西班牙語                                                                                                                                                                    中文                                                                                                              

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