當前位置:山金工業(深圳)有限公司>>INFICON英福康>> 精品INFICON英福康 倒置磁控真空計 MAG470
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
---|---|---|---|
質量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
網格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率(可調) | 0.3 - 7 amu |
最小可檢測部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
最高工作溫度 工作溫度(傳感器和電子元件) | 150 °C | 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
INFICON英福康 倒置磁控真空計 MAG470
INFICON英福康 倒置磁控真空計 MAG470
MAG470
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倒置磁控真空計MAG470適用于所有超高真空應用。測量范圍為 5x10-11 mbar 到 1x10-2 mbar.
好處
無燈絲燒壞
擴展型版本, 傳感器烘烤至 250°C
良好的點火屬性
容易清洗
金屬密封饋通
高壓LED指示燈亮
對數模擬輸出信號
典型應用
超高真空壓力監測
蒸發和濺射系統的基本壓力
中高真空范圍內的一般真空測量和控制
規格
MAG470
MAG470 extended
測量范圍 (air, N2) mbar
Torr 5x10-11 … 1x10-2
3.8x10-11 … 7.5x10-3
精確度
1x10-9 ... 1x10-3 mbar % of reading ≈±30
重復性
1x10-9 ... 1x10-3 mbar % of reading ≈±5
溫度
操作 (ambient) °C +5 ... +55
儲存 °C -40 ... +65
烘烤至 °C 250 1)
電壓供應
At gauge V (dc) +15 ... +30
At supply unit with max. cable length (3) V (dc) +16 ... +30
Ripple V (p-p) ≤1
功率消耗 W ≤2
材料 Stainless steel, Al2O3, Ag
(1)無電子磁屏蔽
(2) 250°C在定義的區域中,請參見尺寸
(3) 電源的最小電壓必須與傳感器電纜的長度成比例地增加
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訂貨信息
零件號
附件
備件
MAG470
零件號 描述
399-360 MAG470 DN 40 CF-F, FCC
MAG470 擴展型
零件號 描述
399-361 MAG470 DN 40 CF-F, extendet
下載
選擇語言
所有語言 德語 西班牙語 英文
數據表
MAG470 Inverted Magnetron Gaugepdf•299,5 KB•英文•數據表
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