INFICON英福康 極皮拉尼復合真空計 MPG401

INFICON英福康 極皮拉尼復合真空計 MPG401

MPG40X

冷陰極真空計MPG40X

大氣壓至超高真空真空計

嵌入式選項

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INFICON 倒泵控管 Pirani 真空計 MPG400 和 MPG401 測量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力（3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力）。將多項技術融入帶有一個對數模擬輸出信號的單個緊湊型裝置中，顯著降低了安裝、設置和集成的復雜性。

好處

復合真空計 – 倒磁控管和皮拉尼

從 5 X 10-9 mbar 至大氣氣壓的寬廣測量范圍

不會出現絲極燒毀的現象

的點火屬性

易于清潔

FPM 或金屬密封饋入裝置

LED 指示器，高壓時亮起

對數模擬輸出信號

典型應用

高真空壓力監控

蒸發鍍濺系統基本壓力

中真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

測量范圍（空氣，N2） mbar

Torr 5 x 10-9 … 1000

3.8 x 10-9 … 760

精度 (N2)

1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±30%

Repeatability

1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±5%

容許溫度

運行（環境） °C +5 … +55

貯存 °C –40 … +65

烘烤 (1) °C 150

電源電壓

真空計上 V (dc) +15 … +30

纜線最長的電源裝置 (2) V (dc) +16 … +30

波紋 V (p-p) ≤1

功耗 W ≤2

暴露于真空的材料   stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

(1) 沒有電子元件和磁屏蔽。

(2) 電源單元的最小電壓必須與傳感器電纜的長度成比例地增加。

在此下載完整的規格

Part Number

Accessories

Spare Parts

MPG400 FPM sealed

Part Number Description

351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF

351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF

351-012 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F

MPG401 metal-sealed

Part Number Description

351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF

351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF

351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F

351-023 Magnetic shield

下載

選擇語言

所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                                                                    西班牙語

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