INFICON英福康 大氣壓中真空真空計 PSG500

INFICON英福康 大氣壓中真空真空計 PSG500

PSG50x 和 PSG51x

皮拉尼真空計PSG50x 和 PSG51x

大氣壓至中真空真空計

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INFICON Pirani 標準真空計 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用當今市場上 的數字 Pirani 技術，不銹鋼傳感器單元堅固耐用，結構設計緊湊，適用于半導體系統和標準應用，例如前級真空管。

優勢

輕松一鍵調節 ATM 和 HV

節省空間的堅固設計

鋁質殼體

可安裝在任何方向

不銹鋼測量單元，帶金屬密封饋入裝置

對數信號輸出，易于集成

螺紋接頭，具有 10 bar 絕對過壓能力

250°C 可烘烤裝置

鎳絲選件，適用于腐蝕性應用

陶瓷饋入裝置，適用于腐蝕性 的應用（PSG510 和 PSG512)

可選設定點

符合 RoHS 標準

典型應用

高真空電離真空計控制

前級真空壓力監控

真空系統中的安全電路

高真空和低真空范圍內的一般真空測量和控制

規格

PSG500鎢

PSG500-S 鎢絲燈，設定點

PSG502-S 鎳，設定點

PSG510-S 鎢、設定點、陶瓷饋通

PSG512-S 鎳、設定點、陶瓷饋通

測量范圍 在 +1.9 … +10.0 

   準確度( N2 )     

1 x 10 -3  … 100 毫巴 閱讀百分比 ±15% 

5 x 10 -4  … 1 x 10 -3 毫巴 閱讀百分比 ±50% 

100 … 1000 毫巴 閱讀百分比 ±50% 

   重復性（空氣）     

1 x 10 -3  … 100 毫巴 閱讀百分比 2% 

   允許溫度     

手術 攝氏度 +5 … +60 

真空連接（1） 攝氏度 80 / 250  (2) 

貯存 攝氏度 -20 … +65 

   電源電壓     

按量規 電壓（直流） +14 …+30 

波紋 電壓（頁） ≤1 

   功耗 在 ≤1 

   設定點     

設定點數量 設定點數量 沒有任何 

設置范圍 毫巴 —— 

滯后 閱讀百分比 —— 

繼電器觸點   —— 

繼電器觸點：切換時間 多發性硬化癥 —— 

   暴露于真空的材料   玻璃、鎳、鎳鐵、DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 

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零件編號

配件

備件

PSG500鎢   

  350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF。 

350-061 PSG500 1/8英寸NPT 

350-062 PSG500 DN 16 CF-R 

350-063 PSG500 1/2英寸管 

350-064 PSG500 8-VCR（1/2英寸） 

350-065 PSG500 4-VCR（1/4英寸） 

350-066 PSG500 7/16-20 UNF 

350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF，外置閥體 

350-068 PSG500 DN 16 CF-R，外置閥體 

PSG500-S 鎢絲燈，設定點   

  350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF 

350-081 PSG500-S 1/8英寸NPT 

350-082 PSG500-S DN 16 CF-R 

350-083 PSG500-S 1/2英寸管 

350-084 PSG500-S 8-VCR（1/2英寸） 

350-085 PSG500-S 4-VCR（1/4英寸） 

350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF 

350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF，外置閥體 

350-088 PSG500-S DN 16 CF-R，外置閥體 

PSG502-S 鎳，設定點   

  350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF 

350-141 PSG502-S 1/8英寸NPT 

350-142 PSG502-S DN 16 CF-R 

350-143 PSG502-S 1/2英寸管 

350-144 PSG502-S 8-VCR（1/2英寸） 

350-145 PSG502-S 4-VCR（1/4英寸） 

350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF 

350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF，外螺紋閥體 

350-148 PSG502-S DN 16 CF-R，外置閥體 

PSG510-S 鎢、設定點、陶瓷饋通   

  350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF 

PSG512-S 鎳、設定點、陶瓷饋通   

  350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF 

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