INFICON英福康 BCG552 高真空熱電離真空計

INFICON英?？?BCG552 高真空熱電離真空計

Trigon® BAG552

熱電離真空計Trigon® BAG552

中真空至超高真空單真空計

嵌入式選項

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對于需要獨立熱離子規技術的應用，Trigon® 系列中包含了采用單一技術的 Bayard-Alpert 熱電離規 BAG552。

BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

VacXplor® Software

VacXplor 是我們的模塊化用戶軟件，旨在增強您使用 INFICON Trigon 真空計的體驗。VacXplor 提供統一的界面、動態數據可視化和高級定制選項，安裝時無需管理員權限。

在此下載 VacXplor®

優勢

純粹的 Bayard-Alpert 測量系統，適用于超高壓和高壓測量范圍

雙燈絲設計

電隔離電子設備，避免雜散電流

滑動發射模式，避免在切換發射流時出現壓力跳躍和凍結現象

可移動校準數據芯片，延長了烘烤時間

設定點繼電器

明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面

模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

可與 VGC50x 控制器系列配合使用

符合 RoHS 規范

典型應用

半導體工藝中的壓力測量

工業鍍膜

高真空至超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

規格

測量范圍 (空氣, O2, CO, N2) 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar

準確度

1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar ±15% 讀數

可重復性 5% 讀數, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (穩定 10 分鐘后）

暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

零件編號

備件

零件編號 描述

352-420 BAG552 備用傳感器頭, 25KF

352-421 BAG552 備用傳感器頭, 40CF

下載

選擇語言

所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    英文

樣本

數據表

手冊

3D文件

其他文件

軟件

該產品被用于以下市場

真空鍍膜

真空鍍膜市場遠遠超出了光學領域，正在迅速擴展到十年前幾乎無法想象的領域、行業和薄膜層。

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半導體設備制造商

半導體行業涉及集成電路的設計、制造、組裝和測試，而半導體主要用于數據處理、通信、消費電子、汽車和航空航天。

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半導體IDM和晶圓代工廠

為支持廣泛的應用而定制的傳感器，確保產品安全、提高產量和最高生產力。

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