INFICON英福康 MAG070 磁控管冷陰極真空計

INFICON英福康 MAG070 磁控管冷陰極真空計 ?

MAG050, MAG060, MAG070

冷陰極真空計MAG050, MAG060, MAG070

用于 VGC094 和 VGC083C 的冷陰極無源真空計

嵌入式選項

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真空計MAG050、MAG060 和 MAG070 是歷史悠久的無源倒置磁控管冷陰極真空計，可與真空計控制器 VGC094 和 VGC083C 配合使用。它們設計用于 1×10-11 (MAG070) 至 5×10-3 mbar 壓力范圍內的真空測量。緊湊的金屬設計提供了適用于一般真空應用的堅固解決方案。MAG050 是一種更簡單的冷陰極真空計，帶有一個橡膠密封饋入件。

由于采用了全金屬設計，MAG060 和 MAG070 可滿足烘烤溫度高達 250 °C 或抗電離輻射能力較強的苛刻應用需求。這兩款產品均可在超高壓范圍內進行壓力測量。MAG070 的三軸連接可實現 壓力讀數（低至 1×10-11 mbar），并可在表頭和控制器之間實現遠距離操作（最遠可達 500 米）。所有表頭都在陽極上安裝了點火輔助裝置（減少了低壓下的冷陰極點火時間），并且可以方便地拆卸和清潔，從而可以在停機時間最短的情況下長期使用。

優勢

基于倒置磁控管原理的表頭設計可靠且經過驗證

大真空壓力測量范圍能力從 1×10-11 (MAG070) 到 5×10-3 mbar

可烘烤至 150 °C (MAG050) 或 250 °C (MAG060, MAG070)

良好的點火性能

采用陶瓷饋入件，耐腐蝕

提供抗輻射設計（MAG060、MAG070）

易于維護，擁有成本低

典型應用

適用于從低真空到高真空范圍的苛刻和/或高溫應用的通用真空測量和控制裝置

運營單位

真空計控制器 VGC094 和 VGC083C（不包括 MAG070）

規格

MAG050

MAG060

MAG070

測量原理 反相磁控管冷陰極

測量范圍 2x10-9 ... 5x10-3 mbar

精度（N2） 30% 的讀數

重復性（N2） 5%的讀數

內部密封 AI2O3 陶瓷 | 彈性體 (FPM)

烘烤溫度 ≤150°C

最大操作距離 ≤100 m

電離輻射耐受性 -

暴露在真空中的材料 不銹鋼、AI2O3、Ag、Mo

特性 三同軸連接器

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部件編號

部件編號

配件

MAG050

399-840 DN 25 ISO-KF

399-841 DN 40 ISO-KF

399-842 DN 40 CF-F

MAG060

399-845 DN 40 ISO-KF

399-846 DN 40 CF-F

MAG070

399-847 DN 40 ISO-KF

399-848 DN 40 CF-F

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