INFICON英?？?IMM-200 標準沉積監測器

INFICON英?？?IMM-200 標準沉積監測器 ?

 用精確的速率和厚度監測來保護和增加您的利潤

IMM-200是一款采用ModeLock技術的沉積監測器，以最高的厚度精度、最佳的測量分辨率和 的速率噪聲，最大限度地提高可重復性和均勻性。

由于內置了振蕩器，IMM-200可以很容易地集成到一個以太網系統中，而且硬件和占地面積最小。這個強大而精確的測量監控器一定會給你的工藝帶來新的性能水平。

功能

INFICON ModeLock 技術提供最長的晶體壽命，并確保提供 、最高分辨率的速率和厚度測量，即使在非常低的速率下也是如此。

通過最佳的 QCM 厚度測量，最大限度地提高產量

單通道速率和厚度監測器，沒有不必要的附加功能，最大限度地降低了成本

100毫秒采樣的±0.0035赫茲

以太網通信實現無縫集成

尺寸緊湊，通過節省工具空間，最大限度地降低集成成本

專家應用支持，能夠討論 的應用需求，提供比競爭對手更多的支持

符合RoHS標準

典型應用

半導體制造

OLED應用

規格

傳感器輸入 1 

  測量頻率范圍 6.0至4.5兆赫（固定） 

  速率和厚度分辨率 0.0042埃（新晶體）；0.0076埃（晶體@4.5兆赫），超過100毫秒的樣品，材料密度=1.0，Z-比率=1.0 

  通信類型 以太網，1個RJ45插口 

在此下載完整的規格

零件編號

附件

易耗品

零件編號 描述 

785-602-G1 IMM-200 Thin Film Deposition Monitor 

下載

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樣本

手冊

其他

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