INFICON英福康 SQM-160 多層膜速率監(jiān)測儀

INFICON英福康 SQM-160 多層膜速率監(jiān)測儀 ?

 監(jiān)測SQM-160

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號。

傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統(tǒng)中平均分配以實現(xiàn)精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器，從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個繼電器輸入，SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設(shè)定點以及信號晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數(shù)。

功能

兩個標(biāo)準(zhǔn)測量通道，另外四個可選

模擬輸出便于記錄速率/厚度

高分辨率選件：0.03 Hz，10 讀數(shù)/秒

RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口，可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)

規(guī)格

SQM-160 標(biāo)準(zhǔn)分辨率

SQM-160 高分辨率

QCM 傳感器輸入 標(biāo)準(zhǔn)：2；可選：4 

  測量頻率范圍 可調(diào)：

最小 1.0 MHz，

最大 6.5 MHz 

  厚度和速率分辨率/測量 (1) ± 0.37 埃 

  存儲薄膜 99 

  數(shù)字輸入/輸出 四個輸入，四個繼電器輸出 

(1) 工具/密度 = 100/1，基礎(chǔ)頻率 = 6 赫茲，0.10 秒測量間隔 

零件編號

平方米160png•127.0 KB

附件

配件

配件和替換件

耗材

前載式單傳感器 前載式單傳感器 

前載式雙傳感器 前載式雙傳感器 

冷藏抽屜單傳感器 冷藏抽屜單傳感器 

冷藏抽屜雙傳感器 冷藏抽屜雙傳感器 

簡易速率單傳感器 簡易速率單傳感器 

簡易速率雙傳感器 簡易速率雙傳感器 

超高壓可烘烤傳感器 超高壓可烘烤傳感器 

濺射傳感器 濺射傳感器 

下載

選擇語言

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手冊

SQM-160 多膜速率/厚度監(jiān)測儀（英文版）PDF•641.9 KB•英語•手冊

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其他

該產(chǎn)品被用于以下市場

真空鍍膜

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