INFICON英福康 XTC3/M 臺式薄膜沉積控制器

INFICON英福康 XTC3/M 臺式薄膜沉積控制器?

 XTC/3

控制器XTC/3

先進、經濟的單層或多層速率控制

先進的、經濟實惠的單層或多層速率控制

現在，您可以在單層和多層工藝的薄膜沉積控制器中獲得所需的一切。XTC/3 帶有  ModeLock，提供跳模預防功能，確保獲得始終如一的質量。通過 XTC/3 薄膜沉積控制器，您可以極其準確地控制沉積速度和厚度，能夠達到幾乎任何層數，安裝輕松且可靠性 從而確保生產效率。

薄膜沉積控制領域的全球 INFICON，現在提供了一種擁有成本極低的儀表，為您帶來 的價值。

無論您的控制需要屬于生產還是研發領域，都能從 INFICON XTC/3 中找到 美的解決方案。

全球 INFICON 支持

無論您身在何處，都能獲得快速的疑難解答和周到的服務，確保正常運行時 。INFICON 是 一家在全球設有本地服務與技術支持中心的薄膜沉積控制器制造商，其辦事處遍布全球。

功能

提供有單層和多層型號

  ModeLock 技術可避免跳模引起的薄膜厚度誤差

支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及雙傳感器自動晶體轉換，從而 生產力

XTC/3M 多層型號最多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源

XTC/3S 單層型號最多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源

易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器

可以為薄膜和過程分 的描述性名稱，以便于檢索

提供以太網連接

獨立式（不需要計算機）或便于 PC 操作的可選 Windows® 軟件

插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器（受限于 XTC/2 功能和命令集）

典型應用

 光學鍍膜

規格

XTC3/S

XTC3/M

測量頻率范圍 6.0 至 5.0 MHz（固定） 

  厚度和速率分辨率/測量 (1) ±0.034 埃 

  傳感器輸入數量 2 

  來源輸出數量 2 

(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲 

零件編號

XTC3 零件編號PDF•1.8 MB

配件

配件和替換件

耗材

姓名 描述 

前載式單傳感器 前載式單傳感器 

前載式雙傳感器 前載式雙傳感器 

冷藏抽屜單傳感器 冷藏抽屜單傳感器 

冷藏抽屜雙傳感器 冷藏抽屜雙傳感器 

簡易速率單傳感器 簡易速率單傳感器 

簡易速率雙傳感器 簡易速率雙傳感器 

ALD傳感器 超高壓可烘烤傳感器 

超高壓可烘烤傳感器 濺射傳感器 

濺射傳感器 CrystalSix® 傳感器 

CrystalSix® 傳感器 Crystal 12®傳感器 

Crystal 12®傳感器 RSH-600旋轉傳感器 

下載

選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英語                                                                                      

手冊

手冊

3D文件

其他

該產品被用于以下市場

真空鍍膜

真空鍍膜市場遠遠超出了光學領域，正在迅速擴展到十年前幾乎無法想象的領域、行業和薄膜層。

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