INFICON英福康 CDG025D-X3 實(shí)用性真空計(jì)

INFICON英福康 CDG025D-X3 實(shí)用性真空計(jì)?

  SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

電容式壓力計(jì)SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式選項(xiàng)

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INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計(jì)，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。 先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn)，如一鍵調(diào)零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有 的零點(diǎn)穩(wěn)定性和預(yù)計(jì)數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)周期（包括大氣沖擊）的長(zhǎng)使用壽命。  的傳感器屏蔽（ 申請(qǐng)中）保護(hù)真空計(jì)免受過(guò)程污染。 堅(jiān)固耐用的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子設(shè)備改善了 EMC 兼容性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。 CDG025D 為電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后的快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。

優(yōu)勢(shì)

全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托

電源接通后快速穩(wěn)定

暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

防腐陶瓷傳感器

 的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性

溫度補(bǔ)償

傳感器防污染雙層保護(hù)

一鍵調(diào)零功能

電源范圍廣

2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)

RS232 接口

Remote zero included

符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

Status LED

典型應(yīng)用

用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備

工業(yè)真空設(shè)備

常規(guī)高精度壓力測(cè)量

規(guī)格

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度  % of reading 0.2 

   分辨率 percent FS 0.003 

   輸出信號(hào)（模擬）     

Signal range mA 3.8 ... 20.2 

Measuring range (zero ...FS) mA 4.0 ... 20.0 

Relationship current-pressure Relationship current-pressure linear 

   反應(yīng)時(shí)間  ms ≤100 

   暴露于真空的材料   Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) 

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選擇語(yǔ)言

                             所有語(yǔ)言                                                                                                                                    德語(yǔ)                                                                                                                                                                    日語(yǔ)                                                                                                                                                                    韓語(yǔ)                                                                                                                                                                    西班牙語(yǔ)                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英文                                                       

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