INFICON英福康 CDG045D 電容式壓力計

INFICON英福康 CDG045D 電容式壓力計

 SKY® CDG045D

電容式壓力計SKY® CDG045D

45°C溫控，滿量程0.05 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式選項

與我們一起 改變您的真空計使用體驗！

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INFICON SKY CDG045D 壓力計是實現高精確總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計溫度控制在 45 °C，具有 的信號穩定性和可重復性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質 成本效益，適用于苛刻的真空應用。

優勢

擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗

易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點

輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移

診斷端口便于快速服務與維護

兩年保修服務，先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

 的信號穩定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子應用，都無需長期執行重新校準

合規性和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程

化學和腐蝕性真空過程

一般薄膜和真空過程

作為基準儀器監控測試儀器是否符合國際標準

符合傳遞標準，確保測量可追溯性

技術規格

1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05 Torr / mbar

精度  % of reading 0.15 

   分辨率 percent FS 0.003 

   輸出信號（模擬） V (dc) 0 … +10 

   反應時間  ms 30 

   暴露于真空的材料   Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) 

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選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                                                                    西班牙語                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英文                                                                                      

手冊

SKY® CDG045D 手冊pdf•2,5 MB•英文•手冊

數據表

尺寸圖

手冊

3D Step Fi

代理品牌：CCS晰寫速  SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森  RIYYO理陽

Düsen-德國 Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奧譜天成

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