INFICON英福康 CDG045Dhs 高速電容式真空計

INFICON英福康 CDG045Dhs 高速電容式真空計

 Stripe® CDG045Dhs

電容式壓力計Stripe® CDG045Dhs

45°C溫控，滿量程0.01 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式選項

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INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是最快速、高度準確的真空測量儀器。響應時間不到 2 ms，配備 EtherCAT 現場總線接口，開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性，而且具有 的零位穩定性。Stripe 隨附 INFICON 已獲 的 傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品的影響。INFICON Stripe 使用創新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和 的速度性能, 可實現提升 的生產力, 使其成為同類產品中 真空儀器.

Stripe CDG045Dhs 贏得了 2014 研發 100 大獎！！

好處

高生產力 - 響應時間快于 2 ms (FS > 50 mTorr)

靈活集成 - EtherCAT 現場總線

使用壽命長 - 經驗證的陶瓷傳感器

忘記重新校準 - 90ppm/年 定性

典型應用

原子層沉積

高速過程控制

PVD、CVD、蝕刻

一般高溫真空應用

技術規格

1000 Torr / 1100 mbar ... 0.05 Torr / mbar

0.02 ... 0.01 Torr / mbar

精度  % of reading 0.15 

   精度 % of reading - 

   分辨率 percent FS 0.003 

   輸出信號（模擬） V (dc) 0 … +10 

   反應時間  ms 2 ... 20 

   暴露于真空的材料   Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) 

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該產

傳統的石油和天然氣生產在過去幾

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