INFICON英福康 SKY CDG200D 高溫壓力計

INFICON英福康 SKY CDG200D 高溫壓力計

 電容式壓力計Cube® CDGsci

全量程 0.1 ... 1000 Torr

嵌入式選項

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INFICON SKY CDG200D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG200D 真空計溫度控制在 200 °C，具有  的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質 ， 成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

優勢

擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗

易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點

輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移

診斷端口便于快速服務與維護

兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

 的信號穩定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子應用，都無需長期執行重新校準

合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產過程

化學和腐蝕性高溫過程

需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

規格

1000 Torr

100 ... 1 Torr

100mTorr

精度  % of reading 0.025 

   輸出信號（模擬） V (dc) 0 … +10 

   反應時間  ms 100 

   暴露于真空的材料   Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) 

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下載

選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                                                                    西班牙語                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英文                                                                                      

手冊

數據表

尺寸圖

手冊

3D Step Files

其他

該產品被用于以下市場

分析儀器

...

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