INFICON英福康 IE514 標準熱陰極真空規頭

INFICON英福康 IE514 標準熱陰極真空規頭

IE414, IE514

熱電離真空計IE414, IE514

用于 IM540 的熱陰極電離無源真空規頭

嵌入式選項

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IE414 和 IE514 是基于熱陰極電離效應的 真空傳感器。IE414 是一種 Bayard-Alpert 真空計，而 IE514 則基于抽氣機原理。這些無源真空計由 IM540 真空計控制器組合和控制。

通過調節陰極發射電流，IE414 的測量范圍從 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超過 9 個分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以達到 2×10-12mbar 的測量下限，這要歸功于其本身減少了 X 射線和離子解吸效應。IE414 和 IE514 真空計頭專為低放氣真空系統設計，可在 溫度（400 °C）下烘烤。耐高溫真空計頭電纜套件也可用于超過 200 °C（傳感器法蘭處為 250 °C）的高溫烘烤。

優勢

采用單獨校準的傳感系統，測量精度高

可更換陰極

的高溫烘烤溫度可達 400 °C

IE414

Bayard-Alpert 傳感原理

測量范圍達 2×10-11毫巴

陰極發射電流調制（與 IM540 真空計控制器結合使用）

IE514

抽氣機傳感原理

測量極限，低至 2×10-12mbar

顯著降低 X 射線和離子解吸效應

典型應用

需要在超高真空范圍內進行精確真空測量和高溫烘烤的科學和研發應用

運營單位

真空計控制器 IM540

規格

IE414

IE514

測量原理 貝亞德-阿爾伯特，熱陰極電離

測量范圍 2×10-11 ... 1×10-2 毫巴（帶模塊化發射電流）

X 射線極限<10-11 毫巴

饋入量 氧化鋁陶瓷

烘烤溫度 ≤400 °C

暴露在真空中的材料 鎳鐵、AI2O3、不銹鋼、Y2O3、鉬、鎢

特點 銥絲，涂有Y2O3

鉬陽極

部件編號

部件編號

配件

IE414

399-661 IE414 DN 40 CF-F

399-676 替換陰極 IE414

IE514

399-663 IE514 DN 40 CF-F

399-677 替換陰極 IE514

下載

選擇語言

所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                                                                    西班牙語                                                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英文

數據表

IE414, IE514 Sensors High-en

代理品牌：CCS晰寫速  SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森  RIYYO理陽

Düsen-德國 Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奧譜天成

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