INFICON英?？?IRG080 電離子基準真空計

INFICON英?？?IRG080 電離子基準真空計

IRG080

IRG080

電離真空計的新標準。

嵌入式選項

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離子基準真空計 IRG080 是專為在真空系統中精確測量總壓而開發的 真空傳感器。IRG080 基于創新的電離真空計概念（熱陰極發射電子以直線路徑進入法拉第杯），適用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范圍內的參考標準。

IRG080 具有 的精度（低至 1%）、可預測的氣體靈敏度（極小的差值）、 的短期重復性和再現性。該儀器是計量和校準的理想解決方案。IRG080 由 IRC081 顯示和操作單元連接和控制。

優勢

專為在高真空和超高真空范圍內要求高測量精度的應用而開發

電極系統配置符合 ISO TS 6737 標準

相對氣體靈敏度可預測，不確定性小，可測量所有氣體種類的真實壓力

電子發射穩定，不受 ESD 或 X 射線效應的影響

可重復，易于運輸

烘烤溫度可達 165 °C（帶耐溫電纜），不帶連接器單元時烘烤溫度可達 400 °C

可提供用于磁屏蔽的 Mu 金屬中間件

運營單元

離子參考計控制器 IRC081

參考標準

氮氣精度低于 1

可預測的氣體靈敏度，誤差極?。?lt;1.5）

真正的總壓測量

 的短期重復性（<1%）和再現性（<1）

測量原理

電子離開陰極（左側），被陽極加速到 200 eV，然后被離子收集器聚焦。電子路徑的長度具有良好的特性，因此儀器的靈敏度是可以預測的。電子在陽極柵內產生的離子被加速到收集器，并以電流形式測量。陽極柵外產生的離子會被偏轉器捕獲。

一個完整的套餐

通過離子參考規控制器 IRC081 的操作和顯示界面

用戶可控制 IRG080 儀器參數

在 IRC081 用戶界面軟件 (LabVIEWTM) 中顯示設置和測量值

數據和參數記錄功能

規格

測量系統 熱陰極電離 

  電極系統配置 根據 ISO TS 6737 

  使用 IRC081 控制器的測量范圍（N2） <1×10-8 … 1×10-4  毫巴 

  靈敏度（N2，典型值） 29  毫巴-1 

  精度（N2，典型值） 讀數的 <±1%  

  重復性（N2） 讀數的 <1%  

  饋通 氧化鋁陶瓷 

  烘烤溫度 ≤400℃ 

  暴露在真空中的材料 不銹鋼, NiFeCo, Al2O3, Ta, W 

下載完整規格

部件編號

部件編號

配件

  IRG080 

399-874 IRG080 DN 63 CF-R，BNC 和多芯連接器 

399-875 IRG080 DN 63 CF-F，BNC 和多芯連接器，金屬中間件 

下載

選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    德語                                                                                                                                                                    日語                                                                                                                                                                    韓語                                                                                                                                                                    西班牙語                                                                                                                                                                    中文                                                                                                               

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