INFICON英福康 通用真空計控制器 PGD500

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VGC083

真空計控制器VGC083

無源真空計的三通道控制器

嵌入式選項

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真空計控制器 VGC083 A/B/C 是一款三通道真空計控制器，用于從大氣壓到超高真空的真空壓力監測和控制。VGC083 的工業設計與大量可選的無源真空計頭相結合，為需要寬真空測量范圍的真空應用提供了靈活、可靠和經濟的選擇。由于兼容性強，VGC083 是需要直接替換現有系統的理想解決方案。

VGC083 可配置為控制和讀出多達 3 個無源真空計頭，包括兩種無源傳感器設計類型：一個電離真空計（熱陰極或冷陰極）和兩個皮拉尼真空計。

VGC083A 設計用于一個無源熱陰極電離 Bayard-Alpert BAG050（裸規）或 BAG055（緊湊型金屬封閉）壓力表頭和兩個對流增強型 Pirani PGE050。

VGC083B 可安裝一個無源熱陰極電離 Bayard-Alpert BAG051（裸規）或 BAG052/053（玻璃管）儀器頭和兩個 PGE050。

VGC083C 可以控制一個無源反向磁控管冷陰極 MAG050/060 測頭和兩個 PGE050。

六個單極設定點繼電器可分配給任何一個儀器頭。內置 RS232 和 RS485 控制接口，用于系統集成。

優勢

從大氣壓到超高真空的真空壓力監測和控制的靈活解決方案

三個單獨的明亮LED顯示屏，操作清晰簡單

使用軟鍵進行參數、傳感器和一般設置

根據真空規類型，用戶可選擇燈絲、脫氣電子轟擊或I2R電阻加熱進行測量調節

三個模擬輸出，用戶可分配給單個真空計或真空計組合

六個可分配的單刀雙擲設定點繼電器

離子計過壓保護：傳感器1可以從傳感器2或3自動打開/關閉

每個通道擁有三個可定義的設定點，設定點帶可調遲滯功能

遠程數字I/O傳感器和發射開關，RS232/RS485串行通信

Granville Phillips®Bayard-Alpert儀表控制器307和配件的直接替換

(Granville-Phillips® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊商標）

測量配置

背板視圖

VGC083 C Backside

VGC083 Front

VGC083 A / B Backside

VGC083 C Backside

VGC083 Front

量具概覽

BAG050

BAG051

BAG052

BAG053

BAG055

MAG050

MAG060

PGE050

測量原理 貝亞德-阿爾伯特，熱陰極電離

量具類型 電子轟擊（EB）脫氣裸規

壓力范圍 2.7×10-11 mbar to 1.3×10-3 mbar

規格

VGC083

測量通道 3

顯示

壓力顯示 LED - 3 個獨立的壓力顯示通道

編程和設置屏幕 OLED

測量范圍 1 x 10-11 ... 1333  毫巴

測量單位（可選） 毫巴、托、帕

設定點繼電器 6 個單刀雙擲繼電器 (SPDT)，用戶可將其分配給任意壓力表

觸點額定值 30 V（直流）時 5 A，250 V（交流）時 5 A，電阻負載

模擬輸出 離子表（BAG、MAG）、離子表與 PGE 組合、單 PGE

接口（數字） RS232, RS4851)

電源電壓（外部） +20 ... +28 V (直流)

操作溫度 +0 ... +40 °C

1) 命令協議與 GP307 兼容

電纜

399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C

399-58x PGE050 cable, 50 °C

399-52x PGE050 Cable, 150 °C

399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C

399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C

399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C

399-81x BAG055 Mini IG cable, 50 °C

399-86x BAG055 Mini IG cable, 200 °C

399-82x MAG050/060 cable, 50 °C

399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C

399-58x PGE050 cable, 50 °C

部件編號

部件編號

量具

電纜 VGC083A

電纜 VGC083B

電纜 VGC083C

399-700 VGC083A 真空計控制器

399-701 VGC083B 真空計控制器

399-702 VGC083C 真空計控制器

399-710 電源 220 W VGC083 (A & B)1)

399-711

代理品牌：CCS晰寫速  SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森  RIYYO理陽

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