INFICON英?？?UL1000 FAB 氦氣泄漏測量儀

INFICON英福康 UL1000 FAB 氦氣泄漏測量儀?

UL1000 Fab

氦氣 泄漏檢測儀UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感技術

ULTRATEST™ 傳感技術

工業真空和半導體制造中，真空泄漏檢測的“干式"標準。

INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空泄漏檢測的v標準。

通過儀器的干式泵技術，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩健性和經濟性之間提供了優良的性價比。它提供 的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。緊湊的設計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區域?？蛇x的背景本底抑制（iZERO）功能能夠在2秒內實現低于現有背景本底水平狀態持續進行泄漏測試。

所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確?？梢越洕鷮嵒莸貦z測出所有泄漏。

使用 SMART-Spray 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦氣瓶和笨重的軟管，從而增強了檢漏功能。它簡化了流程，減少了手動氦氣流量調整，最大限度地減少了錯誤。該工具使泄漏檢測更快、更簡單、更可靠，同時保持較低的氦氣消耗量和背景水平。

此外，SPRAY-Check（噴淋檢漏）可確保檢漏儀的功能性和就緒狀態。它適用于 10-? 至 10-? mbar?l/s 范圍，可在測試過程中提供可靠的檢查。

優勢

通過縮短抽氣時間和響應時間加快泄漏檢測工作

通過使用可選的背景抑制（Izero），避免需要進行多次泄漏測試。

通過緊湊的設計方便進入空間有限的維護區域

通過耐用的兩個熱絲離子源（三年保修）和逆流式真空系統實現低擁有成本 (TCO)

通過可旋轉顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應用難度

通過內置泄漏測試和自動校準程序實現低成本維護

典型應用

對清潔度要求嚴苛的工業真空設備制造

在將真空組件或子組件安裝到現有工具中之前

真空工具的維護工作，無論是否有泵的支持

工藝氣體系統的檢查和安裝

半導體、平板顯示器或太陽能電池制造

規格

UL1000

UL1000 Fab

氦氣最小泄漏檢測率（真空法） mbar•L/s < 5·10-12 

氦氣最小檢測泄漏率（嗅探模式） mbar•L/s < 5·10-8 

最大。入口壓力 GROSS 模式 mbar 15 

最大入口壓力 FINE（精細）模式 mbar 2 

最大入口壓力 ULTRA 模式 mbar 0.4 

前置真空泵類型   油封 

排空時的泵速 m3/h 16 at 50 Hz 

氦氣抽速 ULTRA 模式 L/s 2.5 

可檢測到的質量   2,3,4 amu 

質譜儀 扇形領域   180° 

燈絲離子束 銥/釔涂層   2 

經校準的內置泄漏測試 mbar•L/s E-7 

測試端口   DN 25 KF 

可調節觸發器   2 

界面   RS232 

圖表記錄器輸出 V 2x10 

輸入/輸出   與 PLC 兼容 

允許環境溫度（運行期間） °C +10.....+40 

重量 kg

lb 110

242 

尺寸（長 x 寬 x 高） mm

in 1068 x 525 x 850

42 x 21 x 33 

電源電壓 V (AC)

V (AC)

V (AC) 230 (±10%) 50Hz

115 (±10%) 60Hz

100 (±10%) 50/60Hz 

耗電量 VA 1100 

訂購信息

零件編號

附件

550-000A UL1000, 230 V AC, DN 25 KF 

550-001A UL1000, 115 V AC, DN 25 KF 

550-002A UL1000, 100 V AC, DN 25 KF 

550-100A UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF 

550-101A UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF 

550-102 UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF 

下載

選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    法語                                                                                                                                                                    德語               

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