INFICON英福康 UL3000 Fab ULTRA 氦氣儀

INFICON英福康 UL3000 Fab ULTRA 氦氣儀?

UL3000系列

氦氣 泄漏檢測器UL3000系列

UL3000 Fab/UL3000 Fab ULTRA

采用 ULTRATEST ™ 傳感器技術的移動式氦氣檢漏儀

移動式氦氣檢漏儀：專為半導體應用中的檢漏需求而設計。

它具有靈活性、移動性、快速啟動、高靈敏度、快速和精確的測試結果以及可靠性。

由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時間。

由于低維護的根部粗加工泵，總擁有成本（TCO）更低。

由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，更早地開始檢漏，使得快速達到敏感測量范圍成為可能

UL3000 Fab ULTRA還通過使用成熟的吸污管線SL3000提供了改進的吸污能力，該吸污管線長度可達10米。SL3000有一個單獨的連接端口，因此不需要連接到真空入口。

快速的結果

改進后的真空系統帶有低維護的真空泵，可以從大氣壓開始檢測泄漏。堅固的質譜儀系統確保了長時間的運行和低維護成本。

可旋轉的顯示器和可遠程控制的用戶接口

新的觸摸屏顯示，即使在遠距離也能顯示測試結果和狀態信息。通過用戶指導的菜單結構，即使是沒有經驗的操作員也能輕松操作。通過智能手機或平板電腦可以對UL3000 Fab（ULTRA）進行無線控制--無需特殊軟件或Apps。通過按鈕記錄和存儲測試結果，可以傳輸到其他存儲介質，以便進一步分析。

纖細的設計，*的可操作性

低重心、大輪子、符合人體工程學設計的手柄和纖細的外殼使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狹小的空間也有良好的移動性。

使用 SMART-Spray 優化泄漏測試 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦氣瓶和笨重的軟管，從而增強了檢漏功能。它簡化了流程，減少了手動氦氣流量調整，最大限度地減少了錯誤。該工具使泄漏檢測更快、更簡單、更可靠，同時保持較低的氦氣消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精確檢漏的理想選擇，可節省高達 50% 的檢漏時間。它的響應時間更短，可對各種腔體進行快速、精確的測量，從而提高效率和準確性。此外，SPRAY-Check（噴淋檢漏）可確保檢漏儀的功能性和就緒狀態。它適用于 10-? 至 10-? mbar?l/s 范圍，可在測試過程中提供可靠的檢查。

免費 SMART Spray 演示

使用 SMART-Spray 改變您的泄漏測試流程。

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優勢

采用I-CAL軟件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范圍內快速測量，節省時間

使用I-ZERO 2.0進行 的檢漏，其改進的智能功能可在保持高測量靈敏度的同時進行快速背景抑制

適用于真空和嗅探檢漏

通過快速排空和響應時間，最大限度地減少檢漏工作

纖細的設計，易于操作，節省時間

堅固的離子源（3年保修）和逆流真空系統使總擁有成本（TCO）較低

逆流式真空系統

易于使用，由操作員指導的人機界面，帶有全彩高分辨率可旋轉顯示器

UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S軟件消除了水蒸氣背景，使其有可能迅速達到敏感的測量范圍，從而更早開始檢漏。

UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空氣泵送速度，更快的泵降（排空）時間

根部泵的速度更快

UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低維護率，總擁有成本（TCO）更低。粗加工泵。

UL3000 Fab ULTRA：通過使用久經考驗的吸污管線SL3000，該檢漏儀還提供了改進的吸污能力，其長度可達10米。SL3000有一個單獨的連接端口，因此不需要連接到真空入口。

典型應用

半導體工廠

平板顯示器制造

太陽能電池的制造

玻璃和卷材（卷對卷）鍍膜

一般真空鍍膜和應用

規格

UL3000 工廠

UL3000 Fab ULTRA

粗加工泵的最大泵送速度 立方米/小時 >30

氦氣抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。 升/秒 4

尺寸（長x寬x高） 毫米

英寸 1050x472x987

42x21x34

附加功能 具有最高抽氣速度的羅茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的獨立吸氣管口，真空軟管支架

訂購信息

零件編號

附件

易耗品

550-260 UL3000 Fab ULTRA

550-200 UL3000 工廠

下載

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