英福康INFICON  真空應用氣體分析儀

英福康INFICON  真空應用氣體分析儀

 質譜儀Transpector® MPH

 的性能提高良率并使正常運行時間 

持續上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出 的代價。因此，在半導體制造中心了解過程并監測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統專門用于讓您的系統在所有氣體分析應用中都實現業內 的性能，有助于最大限度地提高芯片產量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優點，在幫助您贏利方面的作用優于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON 利用在氣體分析過程控制設備領域的專長制造的 RGA 具有行業 的數據采集速度，可檢分壓強和信噪比 所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

最大模擬掃描和選定峰值的數據速率為每點 1.8 ms

TCP/IP 以太網連接

雙絲極

可現場更換電子倍增器

組合陽極、陰極和反射極絲極套件

較短的傳感器可降低安裝占地面積

九個數量級的動態量程

<2E-15 Torr 的MDPP（100 amu）

信噪比更高

可調換傳感器和電子元件

傳感器在潔凈室環境中裝配、測試并進行雙層包裝

符合 RoHS 標準

技術規格

每小時100英里

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

質量范圍 100阿姆 

  最小可檢測分壓  2E-15 托 

  靈敏度 (FC) 6E-4 A/托 

  靈敏度 (EM) 500 安培/托 

  最大工作壓力 5E-4 托 

配件

961-021-G1 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）美國插頭 

961-021-G2 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）美式插頭，帶 15 英尺（4.5 米）延長線 

961-021-G3 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）美式插頭，帶 30 英尺（9 米）延長線 

961-021-G4 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）230V 插頭 

961-021-G5 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）230V 插頭，帶 15 英尺（4.5 米）延長線 

961-021-G6 電源套件 80 - 250 VAC / 4 英尺（1.2 米）230V 插頭，帶 30 英尺（9 米）延長線 

600-1190-P8 7米以太網電纜 

600-1190-P15 以太網15米電纜 

600-1428-P1 電源延長線 - 15 英尺（4.5 米） 

600-1429-P1 電源延長線 - 30 英尺（9 米） 

961-417-G1 帶按鈕 Wi-Fi 的 4 端口以太網路由器 

961-418-G1 8端口以太網交換機 

961-702-G1 皮拉尼聯鎖套件 

914-024-G1 角閥套件，手動（包括加熱器） 

914-026-G1 MPH 角閥套件，電動氣動 24 V（DC）（包括加熱器） 

961-029-G1 MPH 加熱器套件 120 VAC 

961-029-G2 MPH 加熱器套件 230 VAC 

備件

耗材

961-416-P1 備用 MPH 加熱套 

914-407-P1 備用閥門加熱套（如果獨立使用則需要加熱器電源線） 

600-1117-P1 備用加熱器電源線 120 VAC 

600-1117-P2 備用加熱器電源線 230 VAC 

914-410-P1 備用角閥，手動 

914-220-G1 氣動備用角閥 

961-206-G2 MPH 擴展套件 

961-205-G2 MPH HPR 擴展套件 

961-022-G1 備用 O 形圈和螺母套件 

074-5007-G1 氣體分析產品手冊CD 

備件

MPH100F

每小時100英里

MPH200F

MPH200M

MPH300F

MPH300M

961-H1FAS MPH 傳感器，100 AMU FC（MPH100F），帶 Y2O3/Ir 燈絲 

961-H1FBS MPH 傳感器，100 AMU FC（MPH100F），帶鎢絲 

MP-H10S MPH 電子盒，100 AMU FC 或 EM/FC（MPH100F、MPH100M），帶以太網 

下載

選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    法語                               

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