英福康INFICON  殘余氣體分析儀 全新

英福康INFICON  殘余氣體分析儀 全新

Transpector® SPS

質譜儀Transpector® SPS

INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標高壓過程提供最佳半導體晶圓和顯示屏面板保護。憑借適合單壓應用的最敏感空氣泄漏和過程污染檢測，Transpector SPS 可 減少晶圓和面板報廢。它具有 的檢測限值和測量速度，確保晶圓和面板產品的質量和數量。Transpector SPS 提供 的過程監控，確保實現穩定的高壓過程，進而 提高過程能力和產量。該儀器融合了簡單且高成本效益的入口系統與經實踐驗證的離子源和泵組，以提供低風險、 的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經過驗證的解決方案，適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應用，且是一般真空和工業應用的理想之選。Transpector SPS 可根據具體應用和預算進行配置和定制。 針對從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過程壓強，均可選用標準孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設計可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過程中的耐受性。

好處

得益于單壓取樣入口， 降低晶圓和面板保護的總擁有成本；是擴散、外延和 RTP 等高壓 過程的理想之選

提供 漏氣量和污染監測，確保恒定高壓過程

通過 強大數據采集與同步實現無縫工廠集成和可靠阻斷

通過定制 配方優化增強 生產能力

通過即時現場專家響應保護關鍵過程需求

典型應用

PVD processesPVD 過程

擴散和外延過程

蝕刻過程包括：金屬、電介質、硅刻蝕, HDP-etch

CVD 過程包括：高 k 電介質、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD

技術規格

100 AMU SPS

200 AMU SPS

300 AMU SPS

總壓力范圍 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)

檢測限值<1 ppm

系統工作壓力（帶孔板/劈刀） 1E-4 Torr to 1.2 atmospheres

靈敏度（@ 低發射、FC 模式） >4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar)

靈敏度（@ 高發射、FC 模式） >2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar)

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手冊

手冊

該產品被用于以下市場

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SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森  RIYYO理陽

Düsen-德國 Schlick AMETEK-LAND蘭德 Advantec 東洋 Eppendorf艾本德 OPTOSKY奧譜天成

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