東京計TOKYOKEISO 質量流量計 TF-1001P-020

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流量計/液位計產品指南

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CLFC300

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流量測量裝置

純水/化學設備流量計和控制器流量控制器（設備用）| 一體式

CLFC300系列是集成了超聲波流量計檢測器、控制閥以及進行流量計算和閥門控制的電路的流量控制器。它

配備了可以極快的速度跟蹤目標流量的控制功能，可用于控制半導體設備中所需的各種液體，例如化學品的定量供給、DIW的流量控制以及漿料流體的定值控制。

關于CLFC1000

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CLFC300系列

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*為了改進產品，所提供的信息可能會有所更改，恕不另行通知。

特征

提高可控性：

改進了傳統的計算過程，進一步提高了對氣泡的抵抗力。

流量測量的穩定性也得到了提高。

提高控制性

：最新的計算電路實現了極快的階躍響應性能，實現了相對于設定值的控制速度小于1.5秒。

我們提供兩種類型的閥門。

針閥適用于化學品和去離子水 (DIW)，夾管閥適用于漿料流體。

除了夾管閥之外，我們還新增了 STA-PURE 型 PCS 管。Sta

-Pure 管經久耐用，無需像以前那樣定期更換管子。

小型輕便的

超聲波流量計將檢測器、控制閥和電路集成在一個小型外殼內，安裝于設備內部時可節省空間。

結構經過重新設計，比以往型號更加緊湊（體積縮小20%）。

體積縮小的同時，重量也減輕了（體積縮小35%）。

減少接線和管道

安裝只需連接流體入口和出口接頭并使用多芯電纜進行電氣接線；不需要復雜的管道或接線。

環保

：降低電流消耗（實測值：減少35%）。

采用符合RoHS標準的部件制造。

耐腐蝕性能 的

接液部件采用 PFA 和 PTFE 材質，適用于半導體行業以及其他各種接觸化學品的行業。

外殼材質也采用了 PVDF。

EMC 合規性

EN 61326-1:2006

主要應用

設定藥液、DIW 的供給流量

通過在以前通過計量泵或加壓罐控制的各種藥液、DIW 的供給管線中安裝 CLFC300，可以高精度、穩定地控制供給的藥液量。

濃度控制

用純水等稀釋藥液，控制一定濃度時，在藥液、純水管路上安裝CLFC300，可實現高度的濃度控制和管理。

穩定供給漿液

通過在CMP設備的各種漿液供給管線中安裝CLFC300，可以穩定、定量地供給漿液，并可以防止所用液體的浪費。

標準規格

測量什么所有液體（為了穩定測量，液體不應含有氣泡。）

口徑φ1/4

流量范圍用于漿液（夾管閥）

50至500mL/min

純水、化學液體（針閥）

最大200-2000mL/min

最小5-50mL/min

流體溫度10 至 50 °C

流體壓力最大0.4兆帕。

過程連接Pillar S300（標準）、Flare

測量精度±0.2%（滿量程）

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