東京計裝TOKYOKEISO 流量計 UCM-04A-002

東京計裝TOKYOKEISO 流量計 UCM-04A-002?

 UCM-04A/06A

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流量測量裝置

純水/化學設備流量計和控制器超聲波流量計（設備用）| 流量監(jiān)測器

UCM-04A/06A是一款小口徑超聲波流量計，可高精度、穩(wěn)定地測量超純水、各種化學品等的流量。

通過集成檢測器和轉換器，實現了大幅小型化和節(jié)省空間。流量通過7段數碼管和LED條形圖顯示在正面，方便現場確認。

所有與液體接觸的部件均采用半導體行業(yè)專用的模壓PFA材質，并采用理想的潔凈結構，沒有活動部件和容易積液的密封部件，非常適合半導體設備等對潔凈度有較高要求的工藝。

流量計的入口和出口為標準尺寸的管道，可連接各種PFA接頭。它可以輕松連接到以前僅進行簡單流量監(jiān)測的工藝流程。

目錄和小冊子

UCM-04A/06A

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*為了改進產品，所提供的信息可能會有所更改，恕不另行通知。

特征

轉換器和檢測器集成在一起，使管道和接線極其簡單。

節(jié)省空間

儀表正面的 7 段 LED 條形圖使您即使在黑暗的地方也可以檢查流速。

通過使用專用配置軟件，可以更改報警輸出等參數的設置。

內置理想的清潔結構檢測器

磁鐵零點調整

通過RS-485通訊進行參數設置

符合RoHS標準

主要應用

半導體制造設備工藝中純水和超純水的流量測量

各種化學品注入過程的流量測量

高腐蝕性液體的流量測量

其他，非常適合測量和控制中小直徑工藝液體和清潔設備

的流量

標準規(guī)格

格式UCM-04AUCM-06A

測量什么所有液體（不含氣泡的液體。高滲透性液體除外。） 

口徑φ6.35×φ4.35管 φ9.53×φ6.35管 

流量范圍最大 0 至 3.0 L/min

最小 0 至 0.2 L/min 最大 0 至 8.0 L/min

最小 0 至 1.0 L/min 

流體溫度10 至 60°C 

流體壓力0至0.4MPa 

過程連接PFA管端 

測量精度±1% FS

（但流量范圍0～500mL/min以下時為±8mL/min） ±1% FS

（但流量范圍0～1000mL/min以下時為±17mL/min） 

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