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山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍設備 A-52-STD：高效雙面電鍍解決方案
一、工作原理
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍設備 A-52-STD 是一種先進的電鍍設備，專為晶圓的雙面同時電鍍設計。設備采用的槳式攪拌器，通過攪拌晶圓的兩面，確保電鍍溶液均勻分布，實現高效的雙面電鍍。其工作原理基于電化學反應，在電鍍槽中，晶圓作為陰極，與陽極支架配合，通過電鍍電源提供穩定的電流，促進金屬離子在晶圓表面沉積。同時，設備配備加熱器和氣泵，可精確控制電鍍過程中的溫度和溶液流動，確保電鍍質量。
二、技術參數
- 型號：A-52-STD
- 適用樣品尺寸：直徑 2 至 8 英寸或 50 至 200 毫米見方的方形樣品
- 電鍍方式：雙面同時電鍍
- 攪拌方式：單槳式攪拌器
- 加熱器：AC100V，功率可選 100W、300W 或 500W
- 電源：晶圓精密電鍍電源（YPP15031WA/15100WA）
- 氣泵：適用于 M202/10L 水箱
- 過濾器：迷你迷你過濾器（20APFA/40APFA）
- 標配附件：晶圓雙面電鍍槽、雙面電鍍用陰極盒（標準型/密封型/吸力封閉型）、陽極支架、加熱器、電源、氣泵、槳式攪拌器、過濾器、引線、空氣過濾器等
三、產品特點
- 高效雙面電鍍：設備采用單槳式攪拌器，能夠同時對晶圓的兩個表面進行電鍍，顯著提高電鍍效率，減少加工時間。
- 高精度控制：配備高精度的電鍍電源和溫度控制系統，能夠精確調節電鍍電流和溶液溫度，確保電鍍層的均勻性和厚度一致性。
- 多樣化樣品適應性：適用于直徑 2 至 8 英寸的圓形晶圓以及 50 至 200 毫米見方的方形樣品，滿足不同尺寸和形狀的電鍍需求。
- 靈活的定制選項：可根據客戶的具體需求定制夾具和電鍍槽的形狀，提供個性化的解決方案。
- 符合國際標準：設備設計符合 CE 標志要求，確保安全性和可靠性
- 環保設計：使用帶溫度保險絲的加熱器，增強保護功能，減少能耗
四、應用場景
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍設備廣泛應用于半導體、MEMS、SiC、玻璃、GaAs、InP 等材料的精密電鍍。在半導體制造中，用于 TSV（硅通孔）和 TSG（通孔玻璃）等先進封裝技術的電鍍工藝。此外，設備還可用于科研實驗和工業生產中的各種電鍍需求，如金屬沉積、表面處理和材料改性等
五、總結
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍設備 A-52-STD 憑借其高效雙面電鍍能力、高精度控制和靈活的定制選項，為晶圓電鍍提供了一種理想解決方案。其廣泛的應用領域和的性能使其成為半導體制造和科研實驗中的重要設備
