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SONIC超聲波微液體流量計μLF-300S

時間:2024/9/6閱讀:370
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SONIC超聲波微液體流量計μLF-300S

SONIC超聲波微液體流量計μLF-300S


用于IPA、純水、藥液等半導體制造工序中微小區域的流量控制


測量1ml/min以上的微小流量利用數字信號處理高精度測量微小流量

-傳感器部的結構不與流體接觸范圍廣


μLF-300S

模型μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸)
測量原理超聲波傳播時間差法
待測液體純水、水溶液、各種化學溶液
* 使用水以外的液體時,請事先確認。
適用流體溫度范圍15℃~80℃
*60℃以上使用請提前確認
流體壓力0.5MPa以下
流體運動粘度100mm^2/秒或更小
流量范圍0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
測量精度±0.5%RD(1/8英寸:200~1000ml/min 條件:室溫、恒溫水)
±1ml/min(1/8英寸:0~199ml/min)
±0.5%RD(1/4英寸: 0~199ml/min) 800~4000ml/min 條件:室溫、恒溫水)
±4ml/min(1/4英寸:0~799ml/min)
重復性±0.2%(純品,液溫±0.5℃,30秒平均值)
電源直流24V±10%
功耗3.6W以下
重量轉換器240g,檢測器70g
尺寸 寬x高x深(毫米)轉換器 97 x 49 x 127
檢測器 90 x 25 x 20(不含管)
檢測部分
管材PFA(氟樹脂)
管徑1/8 英寸外徑:3.17 毫米,內徑:2.17 毫米,1/4 英寸外徑:6.35 毫米,內徑:4.35 毫米
結構相當于IP65
附帶電纜5m,連接器連接
輸入部分
數字輸出4 線 RS-422、4 線 RS-485
模擬輸出4-20mA(瞬時流量),負載電阻500Ω以下
集成脈沖輸出1ch(集電極開路)
報警輸出1ch(集電極開路)
接點輸入1ch(零流量設置或積分清除)
按鍵輸入4個輸入按鈕



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